Teknologi lapisan mesin vakum optik

2022-06-14

Mesin lapisan vakum optik digunakake akeh ing industri, kayata kamera ponsel, kasus ponsel, layar ponsel, saringan warna, lensa tontonan, lan liya-liyane. Standar presisi dhuwur banget, lan macem-macem lapisan bisa dilapisi, kayata AR film anti-refleksi, film plastik seni dekoratif, film keramik motor, film reflektif sing luwih apik, film konduktif ITO, lan film anti-fouling duwe persentase dodolan sing dhuwur ing pasar.

Teknologi pangolahan apa sing digunakake mesin lapisan vakum optik kanggo nutupi pirang-pirang lapisan?

Nalika mesin nutupi vakum optik volatilizes lan accumulates, bahan mentahan sumber ing sistem vakum digawe panas utawa ion Beam elektron negatif kanggo volatilize. Uap diduga ana ing permukaan optik. Sajrone periode volatilisasi, miturut manipulasi pemanasan sing tepat, tekanan kerja pompa vakum, lan posisi lan rotasi substrat sing tepat, lapisan optik seragam kanthi kekandelan khusus bisa diprodhuksi. Volatilisasi nduweni ciri sing relatif lembut, sing bakal nggawe lapisan luwih longgar utawa keropos. Jenis lapisan longgar iki nduweni kemampuan kanggo nyerep banyu, sing ngganti indeks bias film sing cukup, sing bakal nyebabake nyuda karakteristik. Lapisan molah malih bisa ditingkatake kanthi teknologi deposisi sing dibantu sinar elektron, sajrone sinar elektron diarahake menyang permukaan wafer. Iki mbenakake adsorption saka lapisan lumahing optik relatif saka materi sumber, asil ing jumlah gedhe saka kaku internal, kang dipun promosiaken Kapadhetan luwih lan kekiatan luwih saka lapisan.

Medan elektrostatik energi dhuwur bisa nyepetake sinar elektron ing sinar elektron sputtering (IBS) saka lapisan vakum optik. Kecepatan cepet iki nyebabake energi mekanik sing signifikan ing ion positif. Nalika tabrakan karo materi sumber, sinar elektron "magnetron sputters" molekul materi target. Magnetron sputtered target ion positif (molekul diowahi dadi ion positif dening zona hidrolisis) uga nduweni energi mekanik, asil ing film nyenyet nalika kontak karo lumahing optik. IBS minangka teknik sing tepat lan bisa diulang.

Lapisan vakum optik Plasma magnetron sputtering minangka istilah umum kanggo seri teknologi kayata sputtering magnetron plasma dhuwur lan sputtering magnetron. Ora ketompo apa jenis teknologi kasebut, kalebu nggawe plasma. Ion positif ing plasma dicepetake menyang materi sumber, tabrakan karo ion positif energik ngeculke, lan banjur magnetron sputter menyang komponen optik target sakabèhé. Senajan macem-macem jinis plasma magnetron sputtering duwe ciri unik, kaluwihan lan cacat, kita bisa gabungke teknologi iki bebarengan, amarga padha duwe asas padha, prabédan antarane wong-wong mau, mbandhingaké jenis iki teknologi nutupi lan kertas Techniques nutupi liyane dijamin ing kurang beda saka siji liyane.

Ora kaya deposisi volatilisasi, bahan sumber sing digunakake kanggo deposisi lapisan molekul (ALD) ora volatilisasi saka cairan, nanging langsung ana ing wangun uap. Sanajan proses kasebut nggunakake uap, suhu sekitar sing dhuwur isih perlu ing sistem vakum. Ing kabeh proses ALD, prekursor kromatografi gas dikirim miturut pulsa tunggal non-interleaved, lan pulsa siji ora bisa dibatasi. Pangolahan jinis iki nduweni skema desain kimia sing unik, saben pulsa siji mung manut siji lapisan, lan ora ana syarat khusus kanggo geometri lapisan permukaan optik. Mulane, jinis pangolahan iki ngidini kita ngontrol kekandelan lan desain lapisan kanthi tingkat sing relatif dhuwur, nanging bakal nyuda kacepetan akumulasi.